真空饋通Feedthrough在真空系統(tǒng)中的使用

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真空饋通Feedthrough是一種連接真空系統(tǒng)中的設(shè)備和外部環(huán)境的通道，通常用于將真空系統(tǒng)內(nèi)的樣品或氣體輸送到外部環(huán)境中進(jìn)行處理或分析。真空饋通通常需要連接到一些其他設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)其作用。以下是真空饋通在真空系統(tǒng)中常連接的一些設(shè)備：

真空泵：真空泵是一種用于將氣體抽出真空系統(tǒng)的設(shè)備，通常與真空饋通一起使用以維持真空度。

樣品制備設(shè)備：例如濺射設(shè)備、離子束蝕刻設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備等。這些設(shè)備通常需要使用真空饋通將樣品或氣體輸送到反應(yīng)室內(nèi)。

光譜儀：如質(zhì)譜儀、光電子能譜儀等，這些儀器通常需要將樣品置于真空環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量分析。

真空室：如真空鍍膜室、真空實(shí)驗(yàn)室等，這些設(shè)備需要連接真空饋通以維持真空環(huán)境。

氣相分析儀：如氣相色譜儀、氣相層析儀等，這些儀器需要使用真空饋通將氣體樣品輸入到儀器中進(jìn)行分析。

真空饋通通常用于連接真空系統(tǒng)內(nèi)部和外部的設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)樣品輸送、真空維持和氣體分析等目的。真空饋通的選擇和連接需要根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求和系統(tǒng)構(gòu)造來進(jìn)行。

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