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對于真空視窗的泄漏檢測和密封性能驗證,以下是常見的方法和步驟:
外觀檢查:首先進行外觀檢查,確保視窗表面沒有明顯的損傷、裂紋或其他可見的缺陷。
氦氣質(zhì)譜檢測:使用氦氣質(zhì)譜檢測儀器進行泄漏測試。該方法是一種常用的檢測真空系統(tǒng)泄漏的敏感方法。將氦氣引入視窗周圍區(qū)域,然后使用氦氣質(zhì)譜儀掃描檢測是否存在泄漏。
壓力衰減測試:通過在視窗區(qū)域施加壓力,并監(jiān)測壓力衰減的速率來檢測泄漏??梢允褂脡毫τ嫽蛘婵沼媮肀O(jiān)測系統(tǒng)壓力變化。
涂覆密封劑:在視窗和連接部位涂覆密封劑,如橡膠密封圈或密封脂。然后進行真空測試,觀察是否有氣體泄漏。
真空測試:將整個系統(tǒng)置于真空環(huán)境中,通過監(jiān)測真空度的變化來驗證視窗的密封性能??梢允褂谜婵沼嫽蛘婵找?guī)來測量真空度。
壓力差測試:施加壓力差在視窗兩側(cè)進行測試,觀察是否存在泄漏。可以通過在真空室和大氣壓力環(huán)境之間施加壓力差,并監(jiān)測泄漏的氣體流量來進行測試。
氣泡檢測:在視窗周圍涂抹液體密封劑,觀察是否有氣泡冒出來,以判斷是否存在泄漏。
請注意,以上方法可能需要根據(jù)具體的視窗類型、應(yīng)用場景和要求進行調(diào)整和適應(yīng)。建議在進行泄漏檢測和密封性能驗證時,參考相關(guān)的設(shè)備制造商提供的指南、技術(shù)手冊或咨詢專業(yè)人士的建議。
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的真空視窗的泄漏檢測和密封性能驗證方法的介紹。